[分享]什么是真空阴极磁控溅射镀膜法？

[分享]什么是真空阴极磁控溅射镀膜法？...
镀膜玻璃的真空阴极磁控溅射镀膜法，是将玻璃置于真空室中，在真空室内通入反应性气体，当对溅射阴极通电时，在电场的作用下，从阳极表面发射出电子，电子在电场的加速下能量迅速提高，高能电子将于阴极表面区域的空间的气体分子相碰撞，使气体分子电离，带正电的粒子在电场的加速下，高速向阴极表面撞击，将金属粒子击出，同时由于粒子碰撞靶表面产生大量二次电子，电子又在电场的加速下成为高能电子，从而维持这种导常辉光放电。其中，被带正电的粒子从靶表面出的金属粒子，会沉积在玻璃上，形成薄膜。采用这种方法，可以进行多层膜的生产，可形成的材料极多。绝大部分的金属和无机非金属均可成膜。 “控阴极溅射的原理”是在阴极内部装有永久磁铁或电磁铁。磁场穿透阴极表面...